磁控溅射使用在哪些领域里
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热心网友
广义上讲 半导体领域的高阶工艺都有机会用到 如 集成电路芯片制造 MEMS 高端二极体芯片制造等等领域 早期的工艺则用热蒸发或者电子束蒸发成膜 随着半导体工艺线宽的不断变小以及对成膜均一性，台阶覆盖的要求的不断提高 磁控溅射逐渐取代了蒸发成膜工艺
热心网友
是物理镀膜法，和热蒸镀还有激光脉冲镀膜隶属于物理镀膜方法。
磁控溅射，镀的膜比较致密，而且可重复性高，现在有条件的机构都用磁控溅射方法镀膜，我们实验室就有好几台这种仪器。这设备主要就是真空系统，和电源系统，其他的就是外壳了
热心网友
大面积玻璃镀膜领域：low-e 玻璃，阳光控制玻璃，汽车玻璃，太阳能电池；
半导体，电子镀膜领域：MEMS，电子元器件，LED，LCD等；
磁盘，硬盘镀膜领域：铁磁性膜；
装饰镀膜领域：表壳、手机壳、笔记本外壳，和饰品等；不同膜层（膜系）可调制多种颜色。
此外，还有太阳能集热管等，
工具、模具、刀具镀膜领域也有用，效果不如多弧离子镀。
